集成电路封装线系统性静电防护

本文在研究集成电路封装线过程中静电产生的各种原因及静电损伤的机理后，为集成电路的系统性静电防护制定了相关措施。对于集成电路的系统性静电防护主要应用于封装的厂房、封装所用到的机电设备、操作工艺的各项流程等不同环节中，应用静电防护可以有效消除系统性静电对电路造成的损伤。