| 原子层沉积Al_2O_3纳米管弯曲模量的原位研究 |
| |
| 引用本文： | 孙成东秀,马晋遥,杨丽珍,陈强,张跃飞. 原子层沉积Al_2O_3纳米管弯曲模量的原位研究[J]. 电子显微学报, 2018, 0(1): 1-7 |
| |
| 作者姓名： | 孙成东秀 马晋遥 杨丽珍 陈强 张跃飞 |
| |
| 作者单位： | 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室;北京工业大学固体微结构与性能研究所 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.11374027) |
| |
| 摘 要： | 本文使用原子层沉积技术以及模板法制备了厚度、成分和结构精确可控的氧化铝纳米管,结合SEM、TEM、SAED和XPS分析,可知所得为非晶态氧化铝纳米管状结构且薄膜致密无针孔,沉积速率为0.11 nm/cycle,实现了纳米管壁厚在纳米尺度精确可控制备。进一步使用自主设计的SEM/SPM(扫描电子显微镜/扫描探针显微镜)联合测试系统,对氧化铝纳米管进行了原位三点弯曲实验研究。结果表明外半径在50 nm左右的氧化铝纳米管的杨氏模量范围在400~600 GPa之间,且杨氏模量值随着纳米管壁厚的增大而递减。
|
| 关 键 词： | 氧化铝纳米管 原子层沉积 SEM/SPM联合测试系统 杨氏模量 三点弯曲 |
In situ study on bending modulus of Al_2O_3 nanotubes prepared by atomic layer deposition |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | alumina nanotube atomic layer deposition SEM/SPM combined system Young's modulus three-point bending |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ |
|
