| 激光诱导二甲基二乙氧基硅烷气相合成碳化硅超细粉 |
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| 引用本文： | 李亚利 郑丰. 激光诱导二甲基二乙氧基硅烷气相合成碳化硅超细粉[J]. 硅酸盐学报, 1994, 22(5): 500-503 |
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| 作者姓名： | 李亚利 郑丰 |
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| 作者单位： | 中国科学院金属研究所快速凝固非平衡合金国家实验室 |
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| 摘 要： | 本工作首次采用有机硅试剂二甲基二乙氧基硅烷为反应物，进行了激光导气相反应，制备出平均粒径为４０ｎｍ的非晶ＳｉＣ粉末，粉末中Ｃ／Ｓｉ比随反应气流量的变化而变化。非晶ＳｉＣ粉末在１８７３Ｋ，氮气中退火１ｈ后转变为β－ＳｉＣ及α－ＳｉＣ，同时，粉末中部分氧杂质及自由碳脱出粉末。
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| 关 键 词： | 激光 碳化硅 超细粉 气相合成 硅烷 |
CO_2 LASER SYNTHESIS OF ULTRAFINE SiC POWDER FROM DIETHOXYDIMETHYLSILANE |
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| Li Yali, Liang Yong,Zheng Feng, Hu Zhuangqi. CO_2 LASER SYNTHESIS OF ULTRAFINE SiC POWDER FROM DIETHOXYDIMETHYLSILANE[J]. Journal of The Chinese Ceramic Society, 1994, 22(5): 500-503 |
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| Authors: | Li Yali Liang Yong Zheng Feng Hu Zhuangqi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser silicon carbide ultrafine powder vapour phase reaction diethoxydimethylsilane |
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