平面型磷化铟双极型晶体管 |
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引用本文: | 苏里曼.平面型磷化铟双极型晶体管[J].固体电子学研究与进展,1990,10(1):119-120. |
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作者姓名: | 苏里曼 |
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作者单位: | 北京电子管厂 |
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摘 要: | <正>本文提出并制成一种平面型InP双极型晶体管.其基区采用Zn扩散,发射区采用Si离子注入,结果表明晶体管的共发射极电流增益h_(FE)=20,器件可在很小电流下工作(I_C=1μA,h_(FE)=5).由于器件结构和工艺类似Si平面晶体管,预计它可广泛应用于InP高速电路和光电单片集成电路.
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关 键 词: | 平面型 双极型 晶体管 磷化铟 |
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