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| 射频磁控溅射制备纳米TiO_2薄膜及其表征 | |
| 引用本文： | 贾曦,刘洋溢.射频磁控溅射制备纳米TiO_2薄膜及其表征[J].广西轻工业,2012(4):28-29. |
| 作者姓名： | 贾曦 刘洋溢 |
| 作者单位： | 1. 乐山职业技术学院,四川乐山,614000 2. 三门峡市质量监测局,河南三门峡,472000 |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）、原子扫描电镜（AFM）对纳米TiO2薄膜晶体结构、表面形貌进行表征。研究了热处理对纳米TiO2薄膜晶体结构、表面形貌的影响。结果表明,热处理后TiO2颗粒变小,薄膜更加致密。热处理前TiO2薄膜没有出现晶相,呈无定型,500℃条件下热处理1h后出现锐钛矿相,升高热处理温度未出现金红石相。 |
| 关 键 词： | 纳米TiO2薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 表面形貌 |
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