螯合剂对钛酸钡薄膜表面形貌的影响 |
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引用本文: | 李纪标,施民梅,杨芙丽,翟学良. 螯合剂对钛酸钡薄膜表面形貌的影响[J]. 电子显微学报, 2004, 23(4): 432-432 |
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作者姓名: | 李纪标 施民梅 杨芙丽 翟学良 |
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作者单位: | 1. 河北师范大学实验中心,河北,石家庄,050016 2. 沧州师范专科学校化学系,河北,沧州,061000 |
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摘 要: | 近年来,由于BaTiO3薄膜在动态存储器(DRAM)、薄膜存储器等方面的潜在应用前景而广受青睐。钛酸钡薄膜的制备方法很多,溶胶一凝胶法是其中之一。该法具有化学剂量比可控性好、不需真空设备、适合大面积大规模生产的优点,因而逐步为材料学家所重视,是研制高质量超薄型膜的重要
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关 键 词: | 螯合剂 钛酸钡薄膜 表面形貌 显微结构分析 溶胶-凝胶法 扫描电子显微镜 |
Impact of chelatirp apent to the morpriology of the BaTiO3 thin film |
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