| 喷雾电化学放电加工难导电硬脆材料试验研究 |
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| 引用本文： | 刘志东,于建元. 喷雾电化学放电加工难导电硬脆材料试验研究[J]. 电加工与模具, 2012, 0(3): 27-32 |
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| 作者姓名： | 刘志东 于建元 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院,江苏南京,210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，江苏省博士后基金资助项目 |
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| 摘 要： | 针对传统电解电火花加工难导电硬脆材料存在的问题,提出了一种使用开槽金属轮作为一极,另一极为紧贴工件表面的进电金属片的喷雾电化学放电加工方法,对单晶硅和氧化铝陶瓷进行了试验研究,并加工出了窄槽实物。通过分析加工表面微观形貌可知,单晶硅等半导体材料主要依靠电化学腐蚀、电化学放电和化学溶解进行综合蚀除,氧化铝陶瓷等绝缘材料经电化学放电通常只能产生软化层,再由机械方法实现延性方式去除。最后研究了峰值电压、脉冲宽度、脉冲间隔、电解液浓度、开槽金属轮转速等因素对单晶硅和氧化铝陶瓷材料去除率和表面粗糙度值的影响规律。
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| 关 键 词： | 喷雾 电化学放电 难导电 硬脆材料 蚀除方式 |
Experimental Investigation of Difficult-to-conductive Hard and Brittle Materials with Mist-jetting Electrochemical Discharge Machining |
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| Liu Zhidong , Yu Jianyuan. Experimental Investigation of Difficult-to-conductive Hard and Brittle Materials with Mist-jetting Electrochemical Discharge Machining[J]. Electromachining & Mould, 2012, 0(3): 27-32 |
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| Authors: | Liu Zhidong Yu Jianyuan |
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| Affiliation: | (Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,Nanjing 210016,China) |
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