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光栅线位移传感器的误差分析
作者姓名:
纪刚 叶军
摘 要:
在光栅测量仪器中,光栅传感器的误差是影响整个仪器精度的主要因素,主要产生在光栅的刻制、传感器结构及传感器的安装等方面。本文着重分析了光栅线位移传感器的误差来源,并给出了相应的消误差方法,为提高传感器设计精度提供了理论依据。
关 键 词:
光栅线 位移传感器 莫尔条纹 误差分析
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