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| 激光反馈干涉—计算机细分的小位移测量 | |
| 作者姓名： | 李天初 谭小地 等 |
| 作者单位： | [1]中国计量科学研究院，北京100013 [2]西安工业学院，西安7 |
| 摘 要： | 本文简述了光反馈激光开关干涉的基本原理，详细描述了应用计算机象处理技术对方波信号进行内插细分的小位移测量方法肪测量装置，使用这种方法可以达到0.002um的分辨率，其测量不确定度为0.02um(2σ），实验表明，这种方法适用于在实验室条件下对小位移进行精密测量。 |
| 关 键 词： | 干涉测量 位移测量 激光开关 分辨率 |
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