首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
加速度的最新发展:微机械硅电容加速度计
作者姓名:
林明邦
摘 要:
本文对用微机械加工技术成的薄膜型硅电容式微加度计的国际最新研究动向进行论述,列举了采用表面微机加工、硅片键合、硅片溶解等微机械加技术和有限元分析法来优化结构,达到超高性能和完善工作、保证成品率以及采用反馈控制技术构成微机电一体化系统来补偿和完善性能的成功例子,例出已达到的性能指标。
关 键 词:
加速度计 硅电容式 微机械加工
本文献已被
维普
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号