| 氮化硅薄膜的光致发光机制 |
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| 引用本文： | 何贤模,徐明,芦伟. 氮化硅薄膜的光致发光机制[J]. 材料导报, 2012, 26(19) |
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| 作者姓名： | 何贤模 徐明 芦伟 |
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| 作者单位： | 1. 西南民族大学电气信息工程学院,信息材料四川省重点实验室,成都610041;四川师范大学物理与电子工程学院,固体物理研究所,成都610068
2. 西南民族大学电气信息工程学院,信息材料四川省重点实验室,成都610041; |
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| 基金项目： | 四川省青年科技基金，西南民族大学研究生学位点建设项目 |
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| 摘 要： | SiNx的结构和性能都会随x值发生显著变化,尤其是薄膜的发光性质.同时,在不同条件下制备的SiNx薄膜中都观察到了可见光致发光现象,研究者提出了相应的机制予以解释.总结了近十年来关于SiNx薄膜的光致发光研究进展,评述了其各种发光机制.
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| 关 键 词： | 氮化硅薄膜 光致发光 机制 |
Photoluminescence Mechanism of SiNx Films |
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| HE Xianmu , XU Ming , LU Wei. Photoluminescence Mechanism of SiNx Films[J]. Materials Review, 2012, 26(19) |
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| Authors: | HE Xianmu XU Ming LU Wei |
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