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| 单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析 | |
| 引用本文： | 石云波,赵锐,唐军,刘俊,李科杰. 单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析[J]. 传感技术学报, 2012, 25(9): 1236-1241 |
| 作者姓名： | 石云波 赵锐 唐军 刘俊 李科杰 |
| 作者单位： | 1. 北京理工大学机电工程学院,北京100081;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原030051 2. 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051 3. 北京理工大学机电工程学院,北京,100081 |
| 基金项目： | 国防科工委国防基础科研项目基金，重点实验室基金 |
| 摘 要： | 对设计的单片三轴MEMS大量程加速度传感器进行了马歇特锤冲击测试和Hopkinson杆冲击校准试验,得到了三轴加速度传感器冲击过载信号及其各轴向的横向灵敏度比、线性度等关键参数。测试结果表明该三轴传感器在受到117 395.95 gn以上的冲击信号作用时,传感器各轴仍然能够正常工作;其三轴轴向灵敏度均能达到0.1μV/gn以上,各敏感轴受到轴向加速度时其线性度小于6%,轴间横向灵敏度比小于10%。 |
| 关 键 词： | 加速度传感器 三轴 大量程 MEMS |
Testing and Analysis of a Single-Chip Triaxial High Measure Range MEMS Accelerometer |
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| SHI Yunbo , ZHAO Rui , TANG Jun , LIU Jun , LI Kejie. Testing and Analysis of a Single-Chip Triaxial High Measure Range MEMS Accelerometer[J]. Journal of Transduction Technology, 2012, 25(9): 1236-1241 | |
| Authors: | SHI Yunbo ZHAO Rui TANG Jun LIU Jun LI Kejie |
| Affiliation: | 1(1.School of Mechatronic Engineering,Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China; 2.Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory,North University of China,Taiyuan 030051,China) |
| Abstract: | |
| Keywords: | accelerometer triaxial high measure range MEMS |
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