| GaAs MESFET的压力敏感特性 |
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| 引用本文： | 孙金坛 陈军宁. GaAs MESFET的压力敏感特性[J]. 电子学报, 1994, 22(2): 89-91 |
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| 作者姓名： | 孙金坛 陈军宁 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学应用物理系 |
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| 摘 要： | 本文研究了ＧａＡｓ ＭＥＳＦＥＴ对应力的敏感特性，分析了敏感原理。对ＧａＡｓ ＭＥＳＦＥＴ用作力学量传感器的可能性进行了讨论。
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| 关 键 词： | GaAs MESFET 压力效应 传感器 |
Properties of Sensitivity of GaAs MESFET to Stress |
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| Sun Jintan,Chen Junning. Properties of Sensitivity of GaAs MESFET to Stress[J]. Acta Electronica Sinica, 1994, 22(2): 89-91 |
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| Authors: | Sun Jintan Chen Junning |
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| Abstract: | Properties of sensitivity of GaAs MESFET to stress were investigated.The sensitive principle was analysed.The possibility of fabricating force sensor using GaAs MESFET was discussed. |
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| Keywords: | GaAs MESFET Piezoelectric effcect Sensor |
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