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| 高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展 | |
| 引用本文： | 时轮,郝德阜,齐向东. 高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展[J]. 仪器仪表学报, 2001, 22(Z1): 438-439 |
| 作者姓名： | 时轮 郝德阜 齐向东 |
| 作者单位： | 1. 吉林工学院机电学院 2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 摘 要： | 采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段，因此，跟踪世界光栅刻划机的最新技术进展具有重要的现实意义。文中主要对工件台的双重定位技术和分度运动中的间歇式与连续式的技术融合进行了阐述，并指出了衍射光栅刻划机的发展趋势。 |
| 关 键 词： | 衍射光栅刻划机 双重定位 间歇式 连续式 |
State-of-the-art uling Engine |
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