Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜性能影响的研究

透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池、触控面板、液晶显示等领域。本文采用磁控溅射法制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜，研究Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜光电性能的影响。结果表明，AZO薄膜是具有六方晶系ZnO纤锌矿结构的多晶相。当Ag层厚度增加时，AZO/Ag/AZO薄膜的（002）衍射峰略向较高的角度移动且半高宽略微增大，晶粒尺寸和晶面间距减小。AZO/Ag/AZO薄膜的电阻率，方块电阻，光学透射率与Ag层的厚度密切相关。随着Ag层厚度的增加，电阻率减小，透射率减小。品质因数表明，其中Ag层厚为5nm的AZO/Ag/AZO三层薄膜具有较好的光电性能。