| 半导体用超净试剂的种类和应用 |
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| 引用本文： | 俞亚君 丁建良. 半导体用超净试剂的种类和应用[J]. 化工时刊, 1998, 12(11): 12-16 |
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| 作者姓名： | 俞亚君 丁建良 |
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| 作者单位： | 无锡化工研究设计院 214031(俞亚君)，无锡化工研究设计院 214031(丁建良) |
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| 摘 要： | 评论了半导体用超净试剂的应用、种类、作用、纯度、检测方法和市场。
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| 关 键 词： | 超净试剂 半导体 试剂 材料 |
Ultrapure Reagent for Semiconductor and Its Application |
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| Yu Yajun Ding Jianliang. Ultrapure Reagent for Semiconductor and Its Application[J]. Chemical Industry Times, 1998, 12(11): 12-16 |
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| Authors: | Yu Yajun Ding Jianliang |
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| Abstract: | The ultxapure reagent for semiconductor and its application are reviewed. |
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| Keywords: | ultrapure reagent semiconductor |
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