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| 低温制备透明导电膜SnO_2∶F及其结构和性质研究 | |
| 作者姓名： | 雷智 冯良桓 张静全 蔡亚平 蔡伟 郑家贵 李卫 武莉莉 黎兵 蔡道林 夏庚培 鄢强 |
| 作者单位： | 四川大学太阳能材料与器件研究所 成都610064(雷智，冯良桓，张静全，蔡亚平，蔡伟，郑家贵，李卫，武莉莉，黎兵，蔡道林，夏庚培)，四川大学太阳能材料与器件研究所 成都610064(鄢强) |
| 基金项目： | 863计划 ( 2 0 0 1AA5 13 0 10 )，973规划 (G2 0 0 0 0 2 82 0 8)资助项目 |
| 摘 要： | SnO2 ∶F透明导电薄膜是一种广泛用于显示技术和能量转换技术的重要材料。本文采用超声喷雾热解成膜技术 ,对沉积装置进行了改进 ,同时对反应液配方进行了优化 ,制备出透明SnO2 ∶F导电薄膜。用XRD、UV/Vis、SEM、原子力显微镜分析测试方法对沉积薄膜的结构、形貌和光学、电学性质进行了研究。结果表明 ,在 36 0℃沉积温度下制备的SnO2 ∶F薄膜 ,其方块电阻为 4 .7Ω ,(2 0 0 )面择优取向明显 ,薄膜晶粒均匀 ,表面形貌有所改善 ,透明度有所提高。 |
| 关 键 词： | SnO2 透明导电薄膜 超声喷雾热解 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |