| 声表面波器件的研究进展 |
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| 引用本文： | 李晖,潘峰.声表面波器件的研究进展[J].真空科学与技术学报,2001,21(5):376-380. |
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| 作者姓名： | 李晖 潘峰 |
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| 作者单位： | 清华大学材料科学与工程系 |
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| 摘 要： | 声表面波器件作为一种新型的电子器件,近年来引起了人们极大的关注,在科学研究领域有了较大的进展,在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛.本文简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用,展望了其今后的发展趋势.
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| 关 键 词： | 声表面波器件 压电薄膜 叉指换能器 |
| 文章编号： | 0253-9748(2001)05-0376-05 |
| 修稿时间： | 2000年10月16 |
Latest Progress of Surface Acoustic Wave Devices |
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| Li Hui,Pan Feng.Latest Progress of Surface Acoustic Wave Devices[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2001,21(5):376-380. |
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| Authors: | Li Hui Pan Feng |
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| Abstract: | Recently,high frequency surface acoustic wave (SAW) devices have attracted considerable attention because of its many strengths in telecommunication.Much effort has been focussed on developing GHz band SAW filters.The latest progress on SAW devices was reviewed. |
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| Keywords: | SAW devices Piezoelectric film Interdigital transducer |
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