复杂环境电容式微加速度传感器可靠性分析 |
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作者姓名: | 许高斌 余智 徐礼建 马渊明 陈兴 |
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作者单位: | 合肥工业大学 电子科学与应用物理学院 安徽省MEMS工程技术研究中心 合肥230009;合肥工业大学 电子科学与应用物理学院 安徽省MEMS工程技术研究中心 合肥230009;合肥工业大学 电子科学与应用物理学院 安徽省MEMS工程技术研究中心 合肥230009;合肥工业大学 电子科学与应用物理学院 安徽省MEMS工程技术研究中心 合肥230009;合肥工业大学 电子科学与应用物理学院 安徽省MEMS工程技术研究中心 合肥230009 |
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基金项目: | 装备预研项目;安徽省重点研究与开发计划资助项目 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 多失效模式 失效相关性 可靠性 贝叶斯定理 |
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