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| 降低油扩散泵返油率的试验研究 | |
| 作者姓名： | 可庆英 |
| 作者单位： | 沈阳真空技术研究所 |
| 摘 要： | 一、引言 众所周知,油扩散泵广泛地应用到真空冶金、电子工业、原子能及宇宙模拟、国防军工等新技术领域中,其特点是结构简单、运转可靠。但由于它有返油而污染被抽容器的缺点,影响了它的使用范围。为了降低扩散泵的返油,人们做了不少探讨和研究①②,并采用了各种措施,如加设冷凝阱(用液氮或乾冰)、吸附阱(用碳或砩石)、水冷挡板、挡油帽、过热喷嘴及各种汽相加热器等,取得了不同程度的效果。我所曾于1964年对扩散泵的各种水冷挡板(百叶窗式、塔式等)进行了试验研究,证明这些挡板皆能有效地降低泵的返油率、提高真空度,但另一方面却严重地影… |
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