| 电磁驱动MEMS可调式光衰减器的设计 |
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| 引用本文： | 赵小林,李文军,周光亚,张明生,蔡炳初.电磁驱动MEMS可调式光衰减器的设计[J].微细加工技术,2000(4):60-67. |
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| 作者姓名： | 赵小林 李文军 周光亚 张明生 蔡炳初 |
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| 作者单位： | 上海交通大学信息存储研究中心,上海,200030 |
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| 摘 要： | 设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器。这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减。并对该衰减器的插入损耗、光衰减量以及电磁驱动器的性能进行了分析。
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| 关 键 词： | 微机电系统 可调式光衰减器 电磁驱动 MEMS |
| 文章编号： | 1003-8213(2000)04-0060-08 |
| 修稿时间： | 2000-03-07 |
Design of Electromagnet Moving-MEMS Variable Optical Attenuator |
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| ZHAO Xiao-lin,LI Wen-jun,ZHOU Guang-ya,ZHANG Ming-sheng,CAI Bing-chu.Design of Electromagnet Moving-MEMS Variable Optical Attenuator[J].Microfabrication Technology,2000(4):60-67. |
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| Authors: | ZHAO Xiao-lin LI Wen-jun ZHOU Guang-ya ZHANG Ming-sheng CAI Bing-chu |
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| Affiliation: | ZHAO Xiao-lin ,LI Wen-jun ,ZHOU
Guang-ya ,ZHANG Ming-sheng ,CAI Bing-chu ;
(Information Storage Research Center, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030,
China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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