| MoSi2发热元件表面保护膜的形貌与结构 |
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| 引用本文： | 王晓虹,任耀剑,冯培忠. MoSi2发热元件表面保护膜的形貌与结构[J]. 机械工程材料, 2008, 32(1): 63-66 |
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| 作者姓名： | 王晓虹 任耀剑 冯培忠 |
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| 作者单位： | 中国矿业大学材料科学与工程学院,江苏徐州,221116;中国矿业大学材料科学与工程学院,江苏徐州,221116;中国矿业大学材料科学与工程学院,江苏徐州,221116 |
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| 基金项目： | 中国矿业大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用SEM和EDS技术研究了国外某MoSi2发热元件表面保护膜的成分和微观组织.结果表明:在MoSi2发热元件外表面存在一层光滑致密的厚度超过10μm的玻璃保护膜,膜和基体之间界面清晰,结合紧密,该膜是一种以SiO2为主,含有少量铝、钠、镁和钙氧化物的复合成分的玻璃保护膜;在最外层玻璃保护膜和基体之间存在1～2μm厚的Mo5Si3过渡层;复合成分玻璃保护膜和Mo5Si3过渡层的出现有利于调整保护膜和基体之间热膨胀系数的差异,提高保护膜和基体结合的稳定性,有利于发热元件的高温使用.
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| 关 键 词： | 二硅化钼 发热元件 保护膜 组织 |
| 文章编号： | 1000-3738(2008)01-0063-04 |
| 修稿时间： | 2007-03-13 |
Scale of MoSi2 Heating Element |
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| WANG Xiao-hong,REN Yao-jian,FENG Pei-zhong. Scale of MoSi2 Heating Element[J]. Materials For Mechanical Engineering, 2008, 32(1): 63-66 |
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| Authors: | WANG Xiao-hong REN Yao-jian FENG Pei-zhong |
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