| 电容法微力测量中轴偏对电容梯度的影响 |
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| 引用本文： | 张国强 赵美蓉,蔡 雪.电容法微力测量中轴偏对电容梯度的影响[J].电子测量与仪器学报,2015,29(1):14-20. |
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| 作者姓名： | 张国强 赵美蓉 蔡 雪 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072 |
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| 基金项目： | 国家科技支撑计划(2011BAK15B06)项目 |
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| 摘 要： | 电容法微小力值测量中电容传感器会存在轴偏现象,影响测量精度。基于理论模型,分析计算了电容传感器在轴偏情况下的电容梯度。设计了合理的测量方案,通过高精度图像传感器及机器视觉算法,实现了轴偏及电容梯度测量,对轴偏与电容梯度之间理论数值关系进行了实验验证。实验证明了理论推导的正确性及测量方案的可性行,为后续的微力精密测量提供了误差补偿依据。在当前的电容传感器条件下,轴偏不大于50μm时,可满足误差1%以内的系统整体测量目标。
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| 关 键 词： | 圆柱形电容传感器 微小力值 电容梯度 轴偏 机器视觉 |
Effect of electrode offset on capacitance gradient in micro force
measurement based on capacitive sensor |
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| Zhang Guoqiang,Zhao Meirong,Cai Xue.Effect of electrode offset on capacitance gradient in micro force
measurement based on capacitive sensor[J].Journal of Electronic Measurement and Instrument,2015,29(1):14-20. |
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| Authors: | Zhang Guoqiang Zhao Meirong Cai Xue |
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| Affiliation: | Zhang Guoqiang;Zhao Meirong;Cai Xue;State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | cylindrical capacitive sensor micro force capacitance gradient electrode offset machine vision |
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