| 氨气对热阴极CVD法制备纳米金刚石膜的影响 |
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| 引用本文： | 黄海亮,马红安,王丹,刘艳凤,左桂红,姜宏伟,彭鸿雁. 氨气对热阴极CVD法制备纳米金刚石膜的影响[J]. 超硬材料工程, 2011, 23(2) |
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| 作者姓名： | 黄海亮 马红安 王丹 刘艳凤 左桂红 姜宏伟 彭鸿雁 |
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| 作者单位： | 1. 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省重点实验室,黑龙江牡丹江,157012
2. 吉林大学超硬材料国家重点实验室,吉林长春,130012 |
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| 摘 要： | 采用直流热阴级化学气相沉积(DC—PACVD)方法,以NH3 +CH4 +H2混合气体作为气源,通过改变氨气浓度,在单晶硅(111)基片上沉积纳米金刚石膜.采用扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪分析了不同氨气浓度下制备的纳米金刚石膜.结果表明:在基体温度为700℃条件下,随着氨气浓度的增大,纳米金刚石膜中的金刚石相含量增加,非金刚石相含量相对减少；晶粒的平均粒度减小.在一定范围内氨气浓度增加,有助于提高纳米金刚石膜质量；在氨气流量达到8 mL/min时,获得了质量最好的纳米金刚石膜,其平均晶粒尺寸约为64 nm、均方根粗糙度约为27.4 nm.并提出了掺氮纳米金刚石薄膜的生长模型,对相应现象给出了解释.
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| 关 键 词： | 纳米金刚石膜 直流热阴极化学气相沉积 氨气浓度 |
Influence of NH3 concentration on nano-crystalline diamond films prepared by DC hot-cathode CVD method |
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| HUANG Hai-liang,MA Hong-an,WANG Dan,LIU Yan-feng,ZUO Gui-hong,JIANG Hong-wei,PENG Hong-yan. Influence of NH3 concentration on nano-crystalline diamond films prepared by DC hot-cathode CVD method[J]. , 2011, 23(2) |
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| Authors: | HUANG Hai-liang MA Hong-an WANG Dan LIU Yan-feng ZUO Gui-hong JIANG Hong-wei PENG Hong-yan |
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