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日本超精密测量技术的研究状况和展望

引用本文：	松本弘一 ,何永慧 ,孙书平.日本超精密测量技术的研究状况和展望[J].光机电信息,1994(8).

作者姓名：	松本弘一何永慧孙书平

摘要：	1.前言近来,一提到超精密计量,似乎可与光学技术相提并论,因采用光学计量技术能够实现非接触精度计量,因此,它便成为科学、工业发展不可缺少的组成部分,尤其是利用光波干涉可重复性,完成高精度的计量工作。图1表示利用光作精密计量的有关测量领域
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