交流电晕放电下微水对(CF_3)_2CFCN/N_2混合气体分解特性的影响

全氟异丁腈(CF_3)_2CFCN(C_4F_7N)作为SF_6替代气体引起了研究人员的广泛关注。为研究微水对C_4F_7N的分解特性的影响,本文实施了针对C_4F_7N/N_2混合气体的针-板电极交流电晕放电实验,随后利用气相色谱质谱联用仪和扫描式电子显微镜-能量色谱仪分析了C_4F_7N/N_2在微水条件下的分解特性。结果显示,C_4F_7N/N_2的主要分解气体为CO_2、CF_4、C_2F_6、C_3F_6和C_3F_8等。随着微水含量的升高,CO_2产量增加并逐渐趋于饱和;CF_4、C_2F_6和(C_3F_6+C_3F_8)等氟碳气体的产量先下降后上升;分解气体总量呈缓慢持续增长的趋势。放电后,铜板电极表面出现了沉积物,电镜扫描显示沉积物的主要元素构成为C、N、F等;当微水含量进一步增加时,铜板电极表面出现了Fe和Cr元素。