| 不同晶粒尺寸对CVD金刚石膜机械性能的影响 |
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| 引用本文： | 何敬晖,秦松岩,玄真武,董长顺,苗雨新,陈磊. 不同晶粒尺寸对CVD金刚石膜机械性能的影响[J]. 超硬材料工程, 2009, 21(5): 5-7 |
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| 作者姓名： | 何敬晖 秦松岩 玄真武 董长顺 苗雨新 陈磊 |
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| 作者单位： | 北京天地东方超硬材料股份有限公司,100018 |
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| 摘 要： | 采用热丝辅助化学气相沉积（CVD）工艺制备出纳米、微米及细晶粒金刚石膜材料。观察了这三种金刚石膜的表面形貌并对上述金刚石膜的物理机械性能包括抗弯强度和耐磨性进行了实验性研究。结果表明，细晶粒结构的金刚石膜具有最高的抗弯强度．纳米结构的金刚石膜耐磨性最好。综合两个技术指标认为：细晶粒金刚石膜是三种晶粒结构中最佳的刀具制造材料。
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| 关 键 词： | CVD金刚石膜 纳米 微米 细晶粒 机械性能 |
Influence of different grain size on mechanical properties of CVD diamond film |
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| HE Jing-hui,QIN Song-yan,XUAN Zhen-wu,DONG Chang-shun,MIAO Yu-xin,CHEN Lei. Influence of different grain size on mechanical properties of CVD diamond film[J]. , 2009, 21(5): 5-7 |
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| Authors: | HE Jing-hui QIN Song-yan XUAN Zhen-wu DONG Chang-shun MIAO Yu-xin CHEN Lei |
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