| MEMS概况及发展趋势 |
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| 引用本文： | 张威,张大成,王阳元. MEMS概况及发展趋势[J]. 微纳电子技术, 2002, 39(1): 22-27 |
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| 作者姓名： | 张威 张大成 王阳元 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子所,北京,100871 |
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| 摘 要： | 主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微传感器 微执行器 |
| 文章编号： | 1671-4776(2002)01-0022-06 |
| 修稿时间： | 2001-11-07 |
Survey and development of MEMS |
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| ZHANG Wei,ZHANG Da-cheng,WANG Yang-Yuan. Survey and development of MEMS[J]. Micronanoelectronic Technology, 2002, 39(1): 22-27 |
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| Authors: | ZHANG Wei ZHANG Da-cheng WANG Yang-Yuan |
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| Abstract: | The back ground,characters,developing trend on MEMS are introduced in this paper. |
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| Keywords: | MEMS micro sensor micro actu ator |
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