| 一种计量型二维精密工作台的研究 |
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| 引用本文： | 廖艳春,谢铁邦.一种计量型二维精密工作台的研究[J].湖北工业大学学报,2005,20(5):122-124. |
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| 作者姓名： | 廖艳春 谢铁邦 |
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| 作者单位： | 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074;华中科技大学机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 研究了一种以计量光栅作为计量标准器的二维精密工作台,以实现表面轮廓测量中的X-Y方向的精确定位.重点介绍了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,及工作台闭环控制系统的流程,分析了影响工作台定位精度和速度的因素.系统实现了高速度、高精度和大行程测量的要求.
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| 关 键 词： | 二维位移工作台 计量光栅 定位控制 误差分析 |
| 文章编号： | 1003-4684（2005）10-0122-03 |
| 收稿时间： | 2005-05-10 |
| 修稿时间： | 2005年5月10日 |
Research on 2D Precision Platform with Measurement |
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| LIAO Yan-chun,XIE Tie-bang.Research on 2D Precision Platform with Measurement[J].Journal of Hubei University of Technology,2005,20(5):122-124. |
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| Authors: | LIAO Yan-chun XIE Tie-bang |
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| Abstract: | This paper presents a 2D precise platform with metrology grating as displacement measurement sensor. The position accuracy in X-Y direction is obtained in surface profile measurement. The focus is on the counter and interpolation technique of grating signal managing with hardware and software methods.The flow of closed loop control system is described, and the factor that affected the precision and speed is analyzed. The requirement of high speed, high precision and long working range has been achieved by the system. |
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| Keywords: | two-dimension displacement platform metrology grating positioning control error analysis |
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