基于双向机器视觉的非透明模板副对准控制研究

针对微电子封装中非透明模板的对准问题,对光路设计和准算法进行了研究,提出了一种双向机器视觉对准系统。通过架设一块与待对准模板平行的透明标定板来延伸模板尺寸,并将上、下两块模板分别置于不同的工位进行了摄影,从而克服了相机在狭窄空间无法安装,以及金属模板无法透视的问题,实现了间接对准,并开发了自动对准系统;系统以机器视觉为基础,通过双向视觉系统获取图像,分别采用图像匹配算法与Canny算子,对模板边缘图形进行了初提取与亚像素级二次提取,进而通过坐标转换,间接计算出了模板副的平面位置偏差,并用于驱动XYR工作台进行了对准控制。实验结果表明:该系统可以在实际操作环境中实现非透明模板副的高精度自动对准功能。