| 柔性聚酰亚胺(PI)衬底上ITO薄膜的生长及其透明导电性能影响机制研究 |
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| 引用本文： | 赵佳明,边继明,孙景昌,张东,梁红伟,骆英民.柔性聚酰亚胺(PI)衬底上ITO薄膜的生长及其透明导电性能影响机制研究[J].功能材料,2011,42(Z4):644-647. |
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| 作者姓名： | 赵佳明 边继明 孙景昌 张东 梁红伟 骆英民 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁大连,116024
2. 辽宁师范大学物理与电子技术学院,辽宁大连,116029 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目，中央高校基本科研业务费专项资金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射法在聚酰亚胺(PI)柔性衬底上生长氧化铟锡(ITO)薄膜,采用XP-2探针台阶仪、X射线衍射(XRD)、霍尔测试仪、紫外-可见分光光度计等对ITO薄膜进行结构和光电性能表征.结果表明溅射功率和沉积气压是影响磁控溅射法生长ITO薄膜透明导电性能的主要因素,实验系统研究了溅射功率和沉积气压对ITO薄膜透明导...
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| 关 键 词： | 磁控溅射 聚酰亚胺(PI) 柔性衬底 ITO透明导电膜 |
Growth and transparent conductive properties of ITO films on flexible polyimide (PI) substrates |
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| ZHAO Jia-ming
,
BIAN Ji-ming
,
SUN Jing-chang
,
ZHANG Dong
,
LIANG Hong-wei
,
LUO Ying-min.Growth and transparent conductive properties of ITO films on flexible polyimide (PI) substrates[J].Journal of Functional Materials,2011,42(Z4):644-647. |
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| Authors: | ZHAO Jia-ming BIAN Ji-ming SUN Jing-chang ZHANG Dong LIANG Hong-wei LUO Ying-min |
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