| SU-8胶制备三维微电极结构研究 |
| |
| 引用本文： | 文春明,尤政,温志渝,王晓峰,陈李.SU-8胶制备三维微电极结构研究[J].功能材料,2011,42(Z4):681-684. |
| |
| 作者姓名： | 文春明 尤政 温志渝 王晓峰 陈李 |
| |
| 作者单位： | 1. 新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室,重庆400030;重庆大学微系统中心,重庆400030
2. 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
| |
| 基金项目： | 高等学校科技创新工程重大项目培育资金资助项目 |
| |
| 摘 要： | 为了增大MEMS超级电容器电极结构的表面积,提高MEMS超级电容器的电荷存储能力,研究了利用SU-8胶制备高深宽比三维电极微结构.经过基片清洗、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜等过程,制备了深宽比为6的微结构.分析讨论了微结构制备过程中基底洁净度和升降温速度及曝光、显影时间等因素对结构制备的影响.实验结果表明,用SU...
|
| 关 键 词： | 三维微结构 SU-8光刻胶 高深宽比 超级电容器 MEMS |
The study of fabrication of three-dimensional micro-electrode structure for MEMS supercapacitor by SU-8 photoresist |
| |
| WEN Chun-ming
,
YOU Zheng
,
WEN Zhi-yu
,
WANG Xiao-feng
,
CHEN Li.The study of fabrication of three-dimensional micro-electrode structure for MEMS supercapacitor by SU-8 photoresist[J].Journal of Functional Materials,2011,42(Z4):681-684. |
| |
| Authors: | WEN Chun-ming YOU Zheng WEN Zhi-yu WANG Xiao-feng CHEN Li |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
