| 气源流量对所制备Me-DLC膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 聂君兰,谷坤明,汤皎宁,麦达宇,樊璠. 气源流量对所制备Me-DLC膜性能的影响[J]. 稀有金属与硬质合金, 2008, 36(1): 34-37 |
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| 作者姓名： | 聂君兰 谷坤明 汤皎宁 麦达宇 樊璠 |
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| 作者单位： | 深圳大学材料科学与工程学院,深圳市特种功能材料重点实验室,广东,深圳,518060 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的DLC膜制备方法--ECR(电子回旋共振)微波等离子体气相沉积结合磁控溅射的方法.采用该法通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiN/TiN(N,C)中间层结构的碳薄膜.研究了制备时不同气源流量对薄膜的表面形貌、硬度、摩擦磨损性能、表面能等的影响.
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| 关 键 词： | Me-DLC膜 ECR溅射镀膜 磁控溅射 气源流量 气源 流量 膜性能 影响 Properties Pressure Different 表面形貌 磨损性能 摩擦 硬度 碳薄膜 研究 间层结构 基底 不锈钢 金属钛 石墨靶 磁控溅射 结合 |
| 文章编号： | 1004-0536(2008)01-0034-04 |
| 修稿时间： | 2007-09-13 |
Impact of Different Pressure on the Properties of Me-DLC |
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| NIE Jun-lan,GU Kun-ming,TANG Jiao-ning,MAI Da-yu,FAN Fan. Impact of Different Pressure on the Properties of Me-DLC[J]. Rare Metals and Cemented Carbides, 2008, 36(1): 34-37 |
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| Authors: | NIE Jun-lan GU Kun-ming TANG Jiao-ning MAI Da-yu FAN Fan |
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