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| GM—101型自动滚磨机 | |
| 引用本文： | 刘文平,田惠兰.GM—101型自动滚磨机[J].电子工业专用设备,1994,23(3):20-22. |
| 作者姓名： | 刘文平 田惠兰 |
| 作者单位： | 电子工业部第４５研究所 |
| 摘 要： | ＧＭ—１０１型自动滚磨机电子工业部第４５研究所刘文平，田惠兰前言用直拉法或者区熔法提拉单晶时，籽晶杆周围由于温升和热量梯度造成杂质表面扩散等原因，使晶体内部和表面存在特性差异，提拉速度和多晶熔融温度不均匀造成单晶棒直径不匀，这就需要滚磨以便将单晶表面... |
| 关 键 词： | GM－101型 滚磨机 半导体 自动控制 |
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