| 用符合弹性前冲法测量硅中的氧含量及其分布 |
| |
| 引用本文： | 韩建伟,韦伦存.用符合弹性前冲法测量硅中的氧含量及其分布[J].核技术,1995,18(9):535-537. |
| |
| 作者姓名： | 韩建伟 韦伦存 |
| |
| 作者单位： | 北京大学重离子物理研究所 |
| |
| 摘 要： | 采用２７ＭｅＶ的＾１２Ｃ５＾５＋作为入射粒子，采用符合弹性前冲方法测量了５．６μｍ的硅样品中氧的含量及其深度分布。实验结果表明，采用＾１２Ｃ与＾１６Ｏ符合弹性前冲方法分析硅样品中的氧，其最小探测限可达２０×１０＾－６，深度分辨率为－４５０ｎｍ。该方法对于厚样品，尤其比常规弹性前冲优越。
|
| 关 键 词： | 弹性前冲法 氧 硅膜 含量 深度分布 |
Profiling of oxygen in silicon by coincident elastic recoil detection |
| |
| Han Jianwei,Wei Luncun,Liang Bin,Zhong Yuncheng.Profiling of oxygen in silicon by coincident elastic recoil detection[J].Nuclear Techniques,1995,18(9):535-537. |
| |
| Authors: | Han Jianwei Wei Luncun Liang Bin Zhong Yuncheng |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Coincidence ERD Oxygen |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
|
