阻垢缓蚀剂中总磷酸盐测量不确定度评定

对阻垢缓蚀剂中总磷酸盐的测量结果进行不确定度的评定。通过对测量过程重复性测定、使用的仪器设备、人员分析操作、工作曲线拟合等方面分析了不确定度来源进行分析,对不确定度分量进行了量化,明确对检测结果有重要影响的分量是曲线拟合及重复性测定,对提高检测结果的准确性有指导意义。