| 压阻式微加速度计的结构优化设计 |
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| 引用本文： | 李丽华,郭涛,熊继军,徐栋.压阻式微加速度计的结构优化设计[J].微计算机信息,2007,23(32):221-223. |
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| 作者姓名： | 李丽华 郭涛 熊继军 徐栋 |
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| 作者单位： | 030051,太原山西 中北大学电子测试技术国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;霍英东教育基金 |
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| 摘 要： | 在过去对技术系统的设计优化通常是根据设计者自己的经验，通过改变一个系统参数来分析系统性能。但随着系统参数的日益增加，这种类型的优化变得越来越困难。鉴于此，本文介绍了利用ANSYS软件对压阻式微加速度计进行结构优化的设计的方法，通过对压阻式微加速度计原结构和优化后的结构进行分析比较，加速度计的结构灵敏度提高了一个数量级，输出灵敏度提高了4倍以上。本文也对微加速度传感器的工作原理和有限元优化的相关概念作了简单的介绍。
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| 关 键 词： | 微加速度计 压阻式 有限元优化 结构优化 |
| 文章编号： | 1008-0570（2007）11-2-0221-03 |
| 修稿时间： | 2007-08-23 |
Design optimization of piezoresistance micro-accelerometer |
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| LI LIHUA,GUO TAO,XIOGN JIJUN,XU DONG.Design optimization of piezoresistance micro-accelerometer[J].Control & Automation,2007,23(32):221-223. |
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| Authors: | LI LIHUA GUO TAO XIOGN JIJUN XU DONG |
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| Affiliation: | National Kay Laboratory for Electronic Measurement Technology, North University of China, Taiyuan, Shanxi030051, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro-accelerometrer Piezoresistive finite element optimization Structure optimization |
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