| 用激光直写制作光束整形元件的实验研究 |
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| 引用本文： | 徐兵,王雪辉,陈林森,魏国军.用激光直写制作光束整形元件的实验研究[J].大气与环境光学学报,2004(5). |
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| 作者姓名： | 徐兵 王雪辉 陈林森 魏国军 |
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| 作者单位： | 苏州大学信息光学工程研究所，苏州大学信息光学工程研究所，苏州大学信息光学工程研究所，苏州大学信息光学工程研究所 江苏 苏州 215006，江苏 苏州 215006，江苏 苏州 215006，江苏 苏州 215006 |
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| 摘 要： | 利用迭代傅里叶算法优化得到了特定衍射图样的位相结构,分析讨论了采用单光束激光直写系统进行逐点光刻制作2个台阶二元光学元件位相掩模的基本原理,并给出了实验结果和实验误差分析,从而为发展一种制作周期短、成本低,且无对准误差的二元光学元件的制作方法提供了一种可能。
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| 关 键 词： | 迭代傅里叶算法 激光直写 光束整形 二元光学元件 光刻 |
Experimental Research of Fabricating Beam Shaping Element with Laser Direct Writing System |
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| XU Bing,Wang Xue-hui,CHEN Lin-sen,WEI Guo-jun.Experimental Research of Fabricating Beam Shaping Element with Laser Direct Writing System[J].Journal of Atmospheric and Environmental Optics,2004(5). |
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| Authors: | XU Bing Wang Xue-hui CHEN Lin-sen WEI Guo-jun |
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| Abstract: | The phase structure of given diffraction pattern was obtained by iterative Fourier transform algorithm, and the essential principle to fabricate the phase structure of two levels by laser direct writing system was discussed. The experimental result was given and the diffraction efficiency error was also analyzed. The result shows that it is possible to develop an economical way for obtaining binary beam shaping elements. |
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| Keywords: | iterative fourier transform algorithm laser direct writing (LDW) beam shaping binary optical elements(BOE) photolithography |
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