| 碲锌镉衬底表面在碲镉汞液相外延工艺中的热腐蚀效应 |
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| 引用本文： | 宋林伟,吴 军,孔金丞,李东升,张 阳,李 沛,杨 翔,万志远,黄元晋,木 胜.碲锌镉衬底表面在碲镉汞液相外延工艺中的热腐蚀效应[J].红外与毫米波学报,2018,37(1):92-97. |
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| 作者姓名： | 宋林伟 吴 军 孔金丞 李东升 张 阳 李 沛 杨 翔 万志远 黄元晋 木 胜 |
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| 作者单位： | 昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所,昆明物理研究所 |
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| 摘 要： | 该研究以提高液相外延碲镉汞材料的质量为出发点,研究液相外延生长过程中碲锌镉衬底受到高温汞蒸气影响后的变化情况,并利用光学显微镜、白光干涉仪、能谱仪等分析测试手段对碲锌镉衬底表面进行分析.研究结果表明,液相外延生长过程中,高温汞蒸气对碲锌镉衬底中表面沉淀物尺寸无明显影响,但在衬底表面发现两种类型的腐蚀点,一种是尺寸为25μm左右的较大腐蚀点,分布较均匀;另一种是尺寸为7μm左右的圆形腐蚀点,分布不均匀.衬底经过液相外延薄膜成核生长前的温度变化过程以及高温Hg蒸气的作用,碲锌镉衬底表面形貌呈鱼鳞状,粗糙度增大了50%以上.
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| 关 键 词： | 液相外延 碲锌镉衬底 汞腐蚀 粗糙度 |
| 收稿时间： | 2017/7/23 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2017/8/25 0:00:00 |
Thermal erosion effect to CZT substrate surface during LPE growth of HgCdTe process |
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| SONG Lin-Wei,WU Jun,KONG Jin-Cheng,LI Dong-Sheng,ZHANG Yang,LI Pei,YANG Xiang,WANG Zhi-Yuan,HUANG Yuan-Jin and MU Sheng.Thermal erosion effect to CZT substrate surface during LPE growth of HgCdTe process[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2018,37(1):92-97. |
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| Authors: | SONG Lin-Wei WU Jun KONG Jin-Cheng LI Dong-Sheng ZHANG Yang LI Pei YANG Xiang WANG Zhi-Yuan HUANG Yuan-Jin and MU Sheng |
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| Affiliation: | Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics,Kunming Institute of Physics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | liquid phase epitaxy CdZnTe substrate mercury erosion surface roughness |
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