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| MEMS低功耗氧化锌气体传感器的设计 | |
| 引用本文： | 王晓冬.MEMS低功耗氧化锌气体传感器的设计[J].电子制作．电脑维护与应用,2014(13). |
| 作者姓名： | 王晓冬 |
| 作者单位： | 中国人民武装警察部队学院基础部 河北廊坊 065000 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种基于MEMS技术的ZnO气体传感器的设计与制备方案。该传感器采用磁控溅射技术制备掺杂碳纳米管的ZnO薄膜气敏材料，利用干法刻蚀技术形成硅中空膜片，并在膜片上形成Pt环形加热电阻作为微型加热装置。该传感器具有低温敏感、低功耗和小型化等特性。 |
| 关 键 词： | MEMS ZnO 碳纳米管 气体传感器 |
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