| 内嵌永磁体阵列的柔性振动膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺 |
| |
| 引用本文： | 苏宇锋,段智勇,郑鹏,刘武发,陈文元. 内嵌永磁体阵列的柔性振动膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺[J]. 仪表技术与传感器, 2009, 0(4) |
| |
| 作者姓名： | 苏宇锋 段智勇 郑鹏 刘武发 陈文元 |
| |
| 作者单位： | 1. 郑州大学,河南郑州,450001
2. 上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,200030 |
| |
| 基金项目： | 教育部高等学校博士学科点专项科研基金 |
| |
| 摘 要： | 提出了一种基于硅橡胶薄膜(PDMS,polydimethyl siloxane)和CoNiMnP永磁体阵列的双向微型电磁驱动器,由振动膜层和线圈层两层构成.对该驱动器进行了理论分析与数值模拟,二者结果基本一致,振动膜中心最大挠度的分析误差为7.96%.着重探讨了内嵌磁体阵列的PDMS振动膜的电镀工艺,磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为50 μm×50 μm×20 μm,其矫顽力、剩磁和最大磁能积分别为208.73 kA/m,0.2 T和10.15 kJ/m3.
|
| 关 键 词： | 微驱动器 电磁驱动 硅橡胶(PDMS) 电镀 |
Design and Fabrication of a Micro Electromagnetic Actuator Based on PDMS Diaphragm Embedded Hard Magnets |
| |
| SU Yu-feng,DUAN Zhi-yong,ZHENG Peng,LIU Wu-fa,CHEN Wen-yuan. Design and Fabrication of a Micro Electromagnetic Actuator Based on PDMS Diaphragm Embedded Hard Magnets[J]. Instrument Technique and Sensor, 2009, 0(4) |
| |
| Authors: | SU Yu-feng DUAN Zhi-yong ZHENG Peng LIU Wu-fa CHEN Wen-yuan |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
