| HgCdTe微台面红外焦平面技术研究 |
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| 引用本文： | 朱西安 孙 浩 王成刚 胡小燕 刘 明. HgCdTe微台面红外焦平面技术研究[J]. 激光与红外, 2005, 35(11): 826-828 |
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| 作者姓名： | 朱西安 孙 浩 王成刚 胡小燕 刘 明 |
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| 作者单位： | 华北光电技术研究所,北京,100015;华北光电技术研究所,北京,100015;华北光电技术研究所,北京,100015;华北光电技术研究所,北京,100015;华北光电技术研究所,北京,100015 |
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| 摘 要： | 文章报导了采用液相外延(LPE)生长P型材料、B离子注入成结、全干法深台面刻蚀、深台面侧向钝化及电极引出技术制备出中波320 ×256HgCdTe微台面阵列结构,其相元中心距为30μm,截止波长为5. 0μm。
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| 关 键 词： | HgCdTe 微台面结构 干法刻蚀 侧向钝化 |
| 文章编号： | 1001-5078（2005）11-0826-03 |
| 收稿时间： | 2005-08-26 |
| 修稿时间： | 2005-08-26 |
Study of HgCdTe Micro-mesa Infrared Focal Plane Arrays |
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| ZHU Xi-an,SUN Hao,WANG Cheng-gang,HU Xiao-yan,LIU Ming. Study of HgCdTe Micro-mesa Infrared Focal Plane Arrays[J]. Laser & Infrared, 2005, 35(11): 826-828 |
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| Authors: | ZHU Xi-an SUN Hao WANG Cheng-gang HU Xiao-yan LIU Ming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | HgCdTe micro-mesa dry-etching side-wall passivation |
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