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| La1—xSrxCo1—yFeyO3系厚膜酒敏材料的研究 | |
| 引用本文： | 姚奎,武明堂.La1—xSrxCo1—yFeyO3系厚膜酒敏材料的研究[J].传感技术学报,1993,6(3):50-53. |
| 作者姓名： | 姚奎 武明堂 |
| 作者单位： | 西安交通大学电子系 (姚奎，武明堂)，西安交通大学电子系(李平) |
| 摘 要： | 为改善ZnO系、SnO_2系和Fe_2O系等酒敏材料的气敏选择性和稳定性,人们开始研制ABO_3型酒敏材料,因为它们能表现出良好的稳定性和选择性.敏感元件厚膜化工艺简单,操作易于控制,元件性能一致性好;能促使器件向小型化和集成化发展;结构设计更加灵活,因之厚膜化具有重要意义.1 La_(1-x)Sr_xCo(1-y)Fe_yO_3厚膜的制造工艺 |
| 关 键 词： | 敏感元件 酒敏材料 ZnO SnO2 Fe2O3 |
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