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八羟基喹啉镉薄膜制备及其光学特性
引用本文:路飞平,彭应全,宋长安,邢宏伟,李训栓,杨青森.八羟基喹啉镉薄膜制备及其光学特性[J].半导体学报,2007,28(7):1063-1068.
作者姓名:路飞平  彭应全  宋长安  邢宏伟  李训栓  杨青森
作者单位:兰州大学物理科学与技术学院,兰州 730000;兰州大学物理科学与技术学院,兰州 730000;兰州大学物理科学与技术学院,兰州 730000;兰州大学物理科学与技术学院,兰州 730000;兰州大学物理科学与技术学院,兰州 730000;兰州大学物理科学与技术学院,兰州 730000
摘    要:用真空蒸镀方法,在玻璃衬底上制备了衬底温度不同的八羟基喹啉镉薄膜.XRD分析表明,八羟基喹啉镉薄膜呈多晶态,且衬底温度越高,衍射峰越强,薄膜的结晶性能逐渐变好,结晶晶粒尺度也越大.AFM研究表明,衬底温度升高,薄膜表面形貌越均匀有序,质量变好.MM-16相调制型椭圆偏振光谱仪研究发现,衬底温度升高导致反蒸发增强,薄膜生长速率减小,随着入射光波长的增加,薄膜的折射率和消光系数逐渐减小.随着衬底温度升高,因薄膜晶粒尺度增大,折射率和消光系数也增大;并给出了它们的变化范围.

关 键 词:八羟基喹啉镉  薄膜  折射率  消光系数
文章编号:0253-4177(2007)07-1063-06
收稿时间:1/25/2007 4:13:24 PM
修稿时间:2007-01-25

Preparation and Optical Properties of 8-Hydroxylquinline Cadmium Thin Film
Lu Feiping,Peng Yingquan,Song Chang''an,Xing Hongwei,Li Xunshuan and Yang Qingsen.Preparation and Optical Properties of 8-Hydroxylquinline Cadmium Thin Film[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(7):1063-1068.
Authors:Lu Feiping  Peng Yingquan  Song Chang'an  Xing Hongwei  Li Xunshuan and Yang Qingsen
Affiliation:School of Physical Science and Technology,Lanzhou University,Lanzhou 730000,China;School of Physical Science and Technology,Lanzhou University,Lanzhou 730000,China;School of Physical Science and Technology,Lanzhou University,Lanzhou 730000,China;School of Physical Science and Technology,Lanzhou University,Lanzhou 730000,China;School of Physical Science and Technology,Lanzhou University,Lanzhou 730000,China;School of Physical Science and Technology,Lanzhou University,Lanzhou 730000,China
Abstract:8-hydroxylquinline cadmium(Cdq2)thin films were prepared on glass substrate using vacuum coating technology at different substrate temperatures.The surface and structure were investigated using atomic force microscopy(AFM)and X-ray diffusion(XRD),respectively.The results show that Cdq2 thin film is polycrystalline in structure,and higher substrate temperature results in better morphology,larger grain size,and better structure order.The spectroscopic ellipsometry results show that the refractive index and extinction index decrease with increasing wavelength,and the value of the refractive index and extinction coefficient increase as the substrate temperature increases.
Keywords:8-hydroxylquinline cadmium  thin film  refractive index  extinction index
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