| 微细电化学加工技术 |
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| 引用本文： | 曾繁章,郭钟宁,刘江文. 微细电化学加工技术[J]. 机电工程技术, 2005, 34(5): 11-15 |
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| 作者姓名： | 曾繁章 郭钟宁 刘江文 |
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| 作者单位： | 广东工业大学机电学院,广东,广州,510090 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金资助项目(020144)，广州市科技计划项目(2004Z3-D0051) |
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| 摘 要： | 介绍了微软电化学加工的原理及特点，详细介绍了基于电化学扫描探针显微镜进行的电化学微细加工技术，EFAB制作技术、刻蚀剂层技术（GELT）、超微细电极电化学加工技术等几种目前主要的微细电化学加工技术。
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| 关 键 词： | 微细零件 微细电化学加工 电化学显微镜 EFAB CELT 超微细电极 |
| 文章编号： | 1009-9492(2005)05-0011-04 |
| 修稿时间： | 2004-12-03 |
The fabrication technology of electrochemical micromachining |
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| ZENG Fan-zhang,GUO Zhong-ning,LIU Jiang-wen. The fabrication technology of electrochemical micromachining[J]. Mechanical & Electrical Engineering Technology, 2005, 34(5): 11-15 |
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| Authors: | ZENG Fan-zhang GUO Zhong-ning LIU Jiang-wen |
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| Abstract: | The principle of electrochemical micromachining(EMM) is introduced in this paper. The main fabrication technology of EMM, such as EMM by the tip of EC-SPM,electrochemical fabrication (EFAB), confined etchant layer technique (CELT) and super-micro pole of EMM, are described in detail. |
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| Keywords: | micro parts EMM EC-SPM EFAB CELT super-micro pole |
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