光学曝光的潜力与前景

一、引言集成电路的历史,虽然只有20多年,但是集成电路的集成规模,却始终以惊人的速度发展,尤其在近10多年内,集成度以平均每三年提高四倍的速度增长。从1958年发明的仅有几个元件的第一块集成电路发展到目前,已能在一块芯片上集成上百万个元件。有人估计,到1990年,有可能达到每芯片1亿个元件的集成规模。