| 应用在线电解修整磨削和磁流变光整加工组合工艺进行碳化硅的纳米加工 |
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| 引用本文： | 尹韶辉,陈逢军,盛晓敏,大森整,林伟民,上原嘉宏. 应用在线电解修整磨削和磁流变光整加工组合工艺进行碳化硅的纳米加工[J]. 中国机械工程, 2007, 18(21): 0-2527 |
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| 作者姓名： | 尹韶辉 陈逢军 盛晓敏 大森整 林伟民 上原嘉宏 |
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| 作者单位： | 1. 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心,长沙,410082
2. 日本理化学研究所,东京,日本,173-0003 |
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| 摘 要： | 利用在线电解修整镜面磨削和磁流变光整加工技术对化学气相沉积碳化硅反射镜进行纳米级精度的加工。首先进行在线电解修整磨削，使反射镜面高效率加工成形，并获得较好的形状精度和表面质量；然后利用磁流变技术进行光整加工，以减少反射镜的亚表面损伤，提高表面质量，并通过修正加工，显著提高了工件表面的形状精度。对化学气相沉积碳化硅进行了一系列的加工试验，高效率地得到Rq=2．4nm（均方根偏差）的表面粗糙度和21．2nm的形状精度，并且对在线电解修整镜面磨削与磁流变光整加工所生成的表面特性进行了分析比较。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积碳化硅 在线电解修整镜面磨削 磁流变光整加工 超精密加工 形状精度 表面粗糙度 |
| 文章编号： | 1004-132X（2007）21-2547-04 |
| 修稿时间： | 2006-07-31 |
A Study of Nano-precision Synergistic Process Integrated ELID-grinding and MRF for CVD-SiC |
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| Yin Shaohui,Chen Fengjun,Sheng Xiaomin,Ohmori Hitoshi,Lin Weimin,Uehara Yoshihiro. A Study of Nano-precision Synergistic Process Integrated ELID-grinding and MRF for CVD-SiC[J]. China Mechanical Engineering, 2007, 18(21): 0-2527 |
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| Authors: | Yin Shaohui Chen Fengjun Sheng Xiaomin Ohmori Hitoshi Lin Weimin Uehara Yoshihiro |
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| Affiliation: | 1. National Engineering Research Center for High Efficiency Grinding, Hunan University, Changsha, 410082 ;2. Institute of Physical and Chemical Research (RIKEN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CVD--SiC ELID magnetorheological finishing ultra--precision process form accuracy surface roughness |
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