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| 活跃于先端半导体制造技术开发的JSR株式会社 | |
| 作者姓名： | 解红山 |
| 作者单位： | JSR株式会社上海事务所经理 |
| 摘 要： | 作为世界半导体的先进供应商和研究机构——JSR配合每年度的Semicon Japan，举行JSR Seminar并召集演讲者，介绍先端技术及课题的发展状况。JSR半导体部门一直致力于光刻胶和其它周边的材料、研磨液、Pad等CMP消耗材料的开发、制造和销售。JSR于2004年12月3日召开了the JSR Seminar。本年度的JSR Seminar集中于Lithography技术的研发，45nm node以下技术也纳入视野作为会议焦点。本文就JSR Seminar中的报告进行介绍如下： |
| 关 键 词： | JSR公司 Immersion 曝光机 光刻胶 Top-coat材料 |
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