氮化硅陶瓷的微波烧结 |
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引用本文: | 徐耕夫,庄汉锐.氮化硅陶瓷的微波烧结[J].硅酸盐通报,1998,17(4):53-58. |
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作者姓名: | 徐耕夫 庄汉锐 |
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作者单位: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
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摘 要: | 利用TE103单模腔微波烧结系统对添加6%(Y2O3+Al2O3)的α、β-SiN4粉的微波加热特征进行了研究。通过选择合理的保温材料和烧结工艺,获得了较高密度、结构均的氮化硅烧结体。实验发现,对于粉末为α-Si3N4的试样,在相变发生的温度内,相变的发生比较密化进程更早而且发生在一个相对更低的温度,研究结果也表明,在微波烧结中相变促进致密化进程。在较短的内警备交高的密度和较好的力学性质,氮化硅的
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关 键 词: | 氮化硅陶瓷 微波烧结 相变 烧结 |
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