| 微型泵的加工技术及应用 |
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| 引用本文： | 陆峰,谢里阳.微型泵的加工技术及应用[J].流体机械,2005,33(6):29-34. |
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| 作者姓名： | 陆峰 谢里阳 |
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| 作者单位： | 1. 沈阳建筑大学,辽宁,沈阳,110168;东北大学,辽宁,沈阳,110006
2. 东北大学,辽宁,沈阳,110006 |
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| 摘 要： | 微型泵是微流体系统中的重要执行元件，标志着微流体系统的发展水平。详细介绍了微型泵的种类、加工技术、应用前景以及国内在该领域的研究状况。
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| 关 键 词： | 微流体系统 微型泵 驱动 流量 DRIE技术 |
| 文章编号： | 1005-0329(2005)06-0029-06 |
| 修稿时间： | 2004年7月29日 |
Investigation and Application on Micropump |
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| LU Feng,XIE Li-Yang.Investigation and Application on Micropump[J].Fluid Machinery,2005,33(6):29-34. |
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| Authors: | LU Feng XIE Li-Yang |
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| Affiliation: | LU Feng 1,2,XIE Li-yang 1 |
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| Abstract: | The micropump,as an important actuator,is the symbol of the development level of micro fluidic system.The kind and the process technology of micropump are introduced particular,and its application prospect and the domestic research status also are discussed in detai. |
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| Keywords: | micro fluidic system micropump drive flow rate deep reactive ion etching |
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